STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.

Ayu Ketut Umiati, Ngurah (2012) STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.

Full text not available from this repository.
Official URL: http://elib.unikom.ac.id/gdl.php?mod=browse&op=rea...

Abstract

Bahan ferroelektrik mempunyai kegunaan yang sangat luas, antara lain sebagai mikroaktuator (dari sifat piezoelektriknya), sebagai kapasitor untuk DRAM (Dynamic Random Access Memory) (dari sifat permitivitas dan polarisabilitas yang tinggi), dan untuk sensor infra merah (dari sifat pyroelektrik). Salah satu bahan ferroelektrik tersebut adalah PbZr1-xTixO3 (PZT), yang dapat pula bersifat piezoelektrik dan pyroelektrik. Dalam penelitian ini dikaji efek annealing, pengaruh temperatur dan pengaruh daya dari penumbuhan film tipis PbZr0,625Ti0,375O3 (PZT) menggunakan metode dc unbalanced magnetron sputtering.Film tipis ferroelektrik PbZr0,625Ti0,375O3 (PZT) dideposisi pada temperatur substrat 5500C-7000 C dengan daya yang bervariasi antara 50 – 90 watt di atas substrat kristal silikon (100) pada kondisi annealing dan tanpa annealing. Tekanan awal reaktor sebelum deposisi dilakukan adalah 0,045 torr, aliran gas Ar dan O2 50 : 10, dan tekanan deposisi 1,3 Torr. Untuk kondisi annealing digunakan temperatur 6500C pada tekanan 0,58 Torr.Dari hasil XRD diketahui bahwa dengan annealing, peningkatan temperatur dan peningkatan daya memperbaiki kristalinitas film yang dihasilkan Hal ini dapat dilihat juga pada morfologi bentuk butiran (grain) polikristal PZT dari hasil karakterisasi SEM, butiran tampak lebih kompak, terpola dan homogen. Dari deposisi yang telah dilakukan diketahui bahwa, penumbuhan film tipis PbZr0,625Ti0,375O3 pada substrat Si(100) dengan metode dc unbalanced magnetron sputtering optimum pada temperatur deposisi 6250C dan daya 62,8750 watt.

Item Type: Article
Subjects: Collections > Koleksi Perpustakaan Di Indonesia > Perpustakaan Di Indonesia > JBPTITBPP > S2-Theses > Physical And Mathematical Sci. > Physics > 2001
Divisions: Universitas Komputer Indonesia > Perpustakaan UNIKOM
Depositing User: M.Kom Taryana Suryana
Date Deposited: 16 Nov 2016 07:36
Last Modified: 16 Nov 2016 07:36
URI: http://repository.unikom.ac.id/id/eprint/1283

Actions (login required)

View Item View Item